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    나노 측정시스템을 위한 방진 구조물의 동적 설계에 관한 연구 = A Study on the dynamic dsign of anti-vibration structures for nano-class measuring system

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    https://www.riss.kr/link?id=E805860

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    It is necessary to design the anti-vibration system of precision machinery for a quality assurance. However, in general, the allowable vibration limit is not well known. In this paper, the vibration criteria for foundation of sensitive machinery is proposed and anti-vibration system is designed by using vibration measurement results of foundation. Also, the finite element analysis is performed to verify the effectiveness of the designed anti-vibration system and to determine the allowable dynamic loads of precision measuring system. The results of this study will be helpful for the future design of anti-vibration structures with nano scale measuring system.
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    It is necessary to design the anti-vibration system of precision machinery for a quality assurance. However, in general, the allowable vibration limit is not well known. In this paper, the vibration criteria for foundation of sensitive machinery is pr...

    It is necessary to design the anti-vibration system of precision machinery for a quality assurance. However, in general, the allowable vibration limit is not well known. In this paper, the vibration criteria for foundation of sensitive machinery is proposed and anti-vibration system is designed by using vibration measurement results of foundation. Also, the finite element analysis is performed to verify the effectiveness of the designed anti-vibration system and to determine the allowable dynamic loads of precision measuring system. The results of this study will be helpful for the future design of anti-vibration structures with nano scale measuring system.

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    목차 (Table of Contents)

    • 1. 서론
    • 2. 동적 설계 방향 결정
    • 2.1 방진 시스템의 진동허용규제치
    • 2.2 방진 시스템의 설계
    • 3. 진동측정 및 동특성 실험
    • 1. 서론
    • 2. 동적 설계 방향 결정
    • 2.1 방진 시스템의 진동허용규제치
    • 2.2 방진 시스템의 설계
    • 3. 진동측정 및 동특성 실험
    • 3.1 지반진동 측정
    • 3.2 동특성 해석
    • 3.3 동하중 허용규제치
    • 4. 방진 시스템 시공 후 측정/분석 결과
    • 5. 고찰 및 결론
    • 참고문헌
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