사이클타임의 손실 없이 공정 추적성 확보를 위한 마킹시스템 개발 - 솔라셀 에치 아이솔레이션 공정 중심으로

국문 초록 (Abstract)

Solar-cell Wafer 제조 공정에서는 각 공정 별로 품질 특성과 운전 조건을 측정하고 있다. 하지만 개별 이력추적이 되고 있지 않아 Input 정규성에 대한 부문이나, 선공정과 후공정 사이의 인과성, 공정 흐름에 따른 영향 파악이 힘든 실정이다. 공정 분석과 개선을 위해서는 특성치의 측정뿐만 아니라 공정 추적성의 확보가 필요하다.
99% 이상의 양품율을 유지하고 있는 공정이라도 인과성 확립 체계가 구축되어 있지 않다면 통계 분석 등을 이용한 공정 관리나 개선이 불가능하다. Marking System 구축으로 공정 추적성이 확보된다면 인과 분석 등 통계 분석을 활용한 공정 관리 및 개선으로 등급의 상향과 고효율, 고출력 제품 양산이 가능하며 보다 더 진보된 공정 관리 능력을 가질 수 있을 것으로 사료된다.
Edge Isolation 공정을 중심으로 Laser Marking Machine를 이용하여 사이클타임의 손실 없이 각 Wafer의 소재입고부터 각 공정에 있어 이력추적이 가능하고, 샘플 기법과 Laser의 특성을 잘 활용할 수 있는 경제적이고 효율적인 Wafer Marking System을 개발하는 것이 이 연구의 목적이다.