- ABSTRACT
- 1. 서론
- 2. 두 대의 로봇이 닫힌 체인을 구성할 때의 모빌리티
- 3. 두 대 로봇이 체인을 형성할 때의 동력학
- 4. 시뮬레이션
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2001
Korean
550
학술저널
507-512(6쪽)
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MEMS actuator를 이용한 나노 레벨 웨이퍼 형상 측정