- 서론
- 레이저 플라즈마에 의한 EUV 광의 발생기술
- 방사광을 이용한 EUV 핵심기술 개발
- 방사광을 이용한 EUVL 핵심기술 개발
- 정밀 위치제어 시스템
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2002
Korean
학술저널
34-43(10쪽)
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전력산업 기반조성기금과 정보화 촉진기금의 교육기관 지원비 비교