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      직접회로를 위한 자기 박막 인덕터의 설계 및 제조에 관한 연구 = The Study on Design and Fabrication of the magnetic thin film inductors for ICs

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      Magnetic thin film inductors are designed and febricated which have operating frequencies over 10 ㎒ and several hundred nh of inductance suiable for ICs. To calculate magnetic field and magnetic flux densit of the devices, 3 dimensional as well as 2 dimensional Finite Element Method (FEM) is used. Thin film inductors are designed by computer simulaion to have the best performances. Rebrication of the devices utilize vacuum deposition of various films and photolithographic processes which are commomly used in semiconductor processes. The performance of the febricated inductors are analyzed by Impedance analyzer and Ntwork analyzer for measuring inductance and resistance and obtaining Q.
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      Magnetic thin film inductors are designed and febricated which have operating frequencies over 10 ㎒ and several hundred nh of inductance suiable for ICs. To calculate magnetic field and magnetic flux densit of the devices, 3 dimensional as well as ...

      Magnetic thin film inductors are designed and febricated which have operating frequencies over 10 ㎒ and several hundred nh of inductance suiable for ICs. To calculate magnetic field and magnetic flux densit of the devices, 3 dimensional as well as 2 dimensional Finite Element Method (FEM) is used. Thin film inductors are designed by computer simulaion to have the best performances. Rebrication of the devices utilize vacuum deposition of various films and photolithographic processes which are commomly used in semiconductor processes. The performance of the febricated inductors are analyzed by Impedance analyzer and Ntwork analyzer for measuring inductance and resistance and obtaining Q.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • Ⅰ. 서 론
      • Ⅱ. 본 론
      • 2.1 인덕터 설계 및 특성 해석
      • 2.3 박막 인덕터 제조
      • Abstract
      • Ⅰ. 서 론
      • Ⅱ. 본 론
      • 2.1 인덕터 설계 및 특성 해석
      • 2.3 박막 인덕터 제조
      • 2.3 특성 측정
      • Ⅲ. 결 론
      • 참고문헌
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