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조영신 ; 박수길 ; 임기조 ; 심미자 ; 김상욱 ( Young Shin Cho ; Soo Gil Park ; Ki Jo Lim ; Mi Ja Shim ; Sang Wook Kim )
1997
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500
학술저널
313-316(4쪽)
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TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법을 이용한 Si 기판의 미세가공