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      병렬 XYGθ 스테이지의 고정밀 위치제어 위한 화상처리 알고리즘 = Precision Positioning Control Algorithms of A Parallel XYθ Stage

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      https://www.riss.kr/link?id=E805175

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      국문 초록 (Abstract) kakao i 다국어 번역

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      산업 현장에서는 스테이지의 작업 영역이 5㎜ 5㎜ 이내이고, 위치제어 오차가 최소 4㎛ 정도 요구되는 경우가 있다. 이러한 요구에 맞춰 본 논문은 고정밀 위치제어용 병렬 XYθ 스테이지와 고정밀 위치제어를 위해 새로운 전동 리니어 액추에이터를 사용하였다. 이 액추에이터를 스테이지가 XYθ의 자유도를 가지도록 병렬 XYθ 스테이지 베드의 단일 평면상에 수평 방향으로 한 개, 수직 방향으로 두 개를 설치되어 있다. 그리고 두 대의 CCD 카메라를 이용하여 스테이지 위에 놓인 "+" 얼라인먼트 마크가 새겨진 패널을 상기 요구 조건에 만족하도록 고정밀 위치제어를 할 수 있는 알고리즘을 개발하였다.
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      산업 현장에서는 스테이지의 작업 영역이 5㎜ 5㎜ 이내이고, 위치제어 오차가 최소 4㎛ 정도 요구되는 경우가 있다. 이러한 요구에 맞춰 본 논문은 고정밀 위치제어용 병렬 XYθ 스테이지와 고...

      산업 현장에서는 스테이지의 작업 영역이 5㎜ 5㎜ 이내이고, 위치제어 오차가 최소 4㎛ 정도 요구되는 경우가 있다. 이러한 요구에 맞춰 본 논문은 고정밀 위치제어용 병렬 XYθ 스테이지와 고정밀 위치제어를 위해 새로운 전동 리니어 액추에이터를 사용하였다. 이 액추에이터를 스테이지가 XYθ의 자유도를 가지도록 병렬 XYθ 스테이지 베드의 단일 평면상에 수평 방향으로 한 개, 수직 방향으로 두 개를 설치되어 있다. 그리고 두 대의 CCD 카메라를 이용하여 스테이지 위에 놓인 "+" 얼라인먼트 마크가 새겨진 패널을 상기 요구 조건에 만족하도록 고정밀 위치제어를 할 수 있는 알고리즘을 개발하였다.

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      목차 (Table of Contents)

      • 1. 서론
      • 2. 스테이지 위치 제어 알고리즘
      • Step 1 : 초기 위치 설정
      • Step 2 : 카메라 캘리브레이션
      • Step 3 : 카메라 위치 계산
      • 1. 서론
      • 2. 스테이지 위치 제어 알고리즘
      • Step 1 : 초기 위치 설정
      • Step 2 : 카메라 캘리브레이션
      • Step 3 : 카메라 위치 계산
      • Step 4 : 위치제어 파라메타 산출
      • Step 5 : 엑추에이터의 이송량 산출
      • 3. 실험결과
      • 4. 결과 및 고찰
      • 참고문헌
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