펨토초 레이저를 이용한 3차원 마이크로 채널 제작 = Fabrication of a Three-dimensional Micro-channel by Using a Femtosecond Laser

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

We fabricated a U-type micro-channel in sodium-alumino-borate by using femtosecond laser irradiation and optimized KOH solution etching. We tested the water transport through the channel. In addition, we fabricated a three-dimensional microchannel structure consisting of skew lines in 200 and 300 ㎛ and filled the channel with a dye solution to observe the channel thickness and the structure by employing a confocal microscope to observe the fluorescence pattern.

국문 초록 (Abstract)

은이온이 첨가된 sodium-alumino-borate 유리를 제조하고 유리 내부에 펨토초 레이저를 조사하여 KOH 용액을 이용한 적정 식각 조건을 얻은 후 U자형 마이크로 채널을 제작하고 유체의 이동을 확인하였다. 또한 200 ㎛ 와 300 ㎛ 깊이에 서로 엇갈린 3차원 U자형 구조의 마이크로 채널을 제작한 후 dye 용액을 주입하고 공초점 현미경을 이용하여 채널 내부의 형광 이미지를 측정함으로써 제작된 채널의 크기와 구조를 관측할 수 있었다.

참고문헌 (Reference)

1 W. Watanabe, 30 : 2888-, 2005

2 A. M. Streltsov, 26 : 42-, 2001

3 S. H. Park, 3 : 1-, 2009

4 R. Osellame, 20 : 1559-, 2003

5 Y. Cheng, 248 : 172-, 2005

6 S. Matsuo, 93 : 051107-, 2008

7 C. G. K. Malek, 385 : 1362-, 2006

8 Ki-Soo Lim, "Spectral Change in Silver-Doped Sodium-Borate Glass by Using Femtosecond Laser Irradiation" 한국물리학회 52 (52): 1665-1668, 2008