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      To machine the micro holes, laser machining system is widely used, however, the system cannot fabricate micro holes with a high aspect ratio and a good surface finish. To break the obstacles, the ultrasonic vibration mechanism with PZT (Piezoelectric Transducers) is proposed. If the mechanism vibrate the eyepiece of the laser machining head, the laser beam on the workpiece will vibrate because focusing lens in the eyepiece shakes by the mechanism’s vibration. In addition to the benefits, the mechanism enables us to have high precision and flexibility. It decreases burr and debris during machining. And it is able to machine various materials of workpiece. This research include ultrasonic vibration and large travel range of the proposed mechanism.
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      To machine the micro holes, laser machining system is widely used, however, the system cannot fabricate micro holes with a high aspect ratio and a good surface finish. To break the obstacles, the ultrasonic vibration mechanism with PZT (Piezoelectric ...

      To machine the micro holes, laser machining system is widely used, however, the system cannot fabricate micro holes with a high aspect ratio and a good surface finish. To break the obstacles, the ultrasonic vibration mechanism with PZT (Piezoelectric Transducers) is proposed. If the mechanism vibrate the eyepiece of the laser machining head, the laser beam on the workpiece will vibrate because focusing lens in the eyepiece shakes by the mechanism’s vibration. In addition to the benefits, the mechanism enables us to have high precision and flexibility. It decreases burr and debris during machining. And it is able to machine various materials of workpiece. This research include ultrasonic vibration and large travel range of the proposed mechanism.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 장치의 구성
      • 3. 유한요소해석
      • 4. 실험장치구성
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 장치의 구성
      • 3. 유한요소해석
      • 4. 실험장치구성
      • 5. 실험결과
      • 5. 결론
      • 후기
      • 참고문헌
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