반도체 생산장비를 위한 모듈화 설계 기반의 제품사양관리 방법

국문 초록 (Abstract)

반도체 공정의 기술적 발전과 수요의 확대로 인해 반도체 생산 장비에 대한 제품수명 주기가 급속도로 단축되고 있다. 이에 따라 반도체 생산장비 업체는 시장에서의 경쟁력을 확보하기 위하여 Mass customization production system으로의 전환을 시도하고 있다. 일반적인 반도체 생산장비에 대한 사양관리는 기존 장비의 BOM 구조를 신규 장비에 물리적으로 동일하게 복사한 이후에 상세설계 과정에서 고객의 요구사항에 따라 사양정보를 개별적으로 수정하는 방식을 채택하였다. 그러나 이 방식은 다양한 파생 제품에 대응되는 빈번한 설계변경으로 인해 설계 리드타임의 증가와 데이터 정합성 유지에 어려움을 일으키고 있다. 본 논문에서는 반도체 생산장비 산업에서 Mass customization production system의 가변적이고 다양한 요구사항을 효율적으로 제품개발에 반영하고 설계 리드타임을 단축시키기 위한 모듈화 설계 기반의 제품사양관리 방안을 제안한다. 또한, 최종 제품에 대한 기준사양을 제품 컴포넌트 사양과 부품 컴포넌트 사양으로 구분하여 반도체 생산장비의 모듈화 설계를 지원하기 위한 방법을 제시한다. 제안된 방법을 이용하여 제품사양관리시스템을 구축하고, 이 시스템을 실제 반도체 장비 생산 프로세스에 적용한 결과를 제시한다.