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      수소 플라즈마 처리된 BZO 박막에 산소 플라즈마의 재처리 조건에 따른 BZO 박막 특성 = Influence of O<sub>2</sub>-Plasma Treatment on the Thin Films of H<sub>2</sub> Post-Treated BZO (ZnO:B)

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      https://www.riss.kr/link?id=A103605939

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      The influence of $O_2$-plasma treatment on $H_2$ post-treated BZO (ZnO:B) thin film using MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) are investigated. An $O_2$-plasma treatment of the $H_2$ post-treated BZO thin films resulted in XRD peak of (100), (101) and (110). Also, electrical properties resulted in an increase in sheet resistance and work function. The weighted optical transmittance and haze at 300~1,100 nm of BZO thin films with $O_2$-plasma treatment on the $H_2$ post-treatment show approximately 86% and 15%, respectively.
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      The influence of $O_2$-plasma treatment on $H_2$ post-treated BZO (ZnO:B) thin film using MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) are investigated. An $O_2$-plasma treatment of the $H_2$ post-treated BZO thin films resulted in XRD peak of (100...

      The influence of $O_2$-plasma treatment on $H_2$ post-treated BZO (ZnO:B) thin film using MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) are investigated. An $O_2$-plasma treatment of the $H_2$ post-treated BZO thin films resulted in XRD peak of (100), (101) and (110). Also, electrical properties resulted in an increase in sheet resistance and work function. The weighted optical transmittance and haze at 300~1,100 nm of BZO thin films with $O_2$-plasma treatment on the $H_2$ post-treatment show approximately 86% and 15%, respectively.

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      참고문헌 (Reference)

      1 H. Iida, EDL-4 : 157-, 1983

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      10 X. Chen, 252 : 1561-, 2005

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      14 김근영, "산소 플라즈마로 처리한 ITO(Indium-Tin-Oxide)에 대한 일함수 변화" 한국진공학회 11 (11): 171-175, 2002

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      2014-06-16 학술지명변경 한글명 : Applied Science and Convergence Technology -> 한국진공학회지 KCI등재
      2014-02-06 학술지명변경 한글명 : ASCT -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2014-02-05 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> ASCT
      외국어명 : Journal of the Koren Vacuum Society -> Applied Science and Convergence Technology      		 KCI등재
      2014-01-01 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2005-05-23 학술지명변경 외국어명 : Journal of the Koren Cacuum Society -> Journal of the Koren Vacuum Society KCI등재
      2005-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) KCI등재후보
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      2016 0.12 0.12 0.15
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.13 0.1 0.328 0.03
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