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§ ※ ☆ ★ ○ ● ◎ ◇ ◆ □ ■ △ ▽ → ← ↑ ↓ ↔ 〓 ◁ ◀ ▷ ▶ ♤ ♠ ♡ ♥ ♧ ♣ ⊙ ◈ ▣ ◐ ◑ ▒ ▤ ▥ ▨ ▧ ▦ ▩ ♨ ☏ ☎ ☜ ☞ ¶ † ‡ ↕ ↗ ↙ ↖ ↘ ♭ ♩ ♪ ♬ ㉿㈜ № ㏇ ™ ㏂㏘ ℡ ＃＆＊＠ ª º

ⅰ ⅱ ⅲ ⅳ ⅴ ⅵ ⅶ ⅷ ⅸ ⅹ Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ Ⅵ Ⅶ Ⅷ Ⅸ Ⅹ

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FeMX(M = Mo, Ta, X=N, C) 박막의 자기 특성 및 미세구조 변화

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https://www.riss.kr/link?id=A76076243

저자

신동훈(D. H. Shin) ; 최운(W. Choi) ; 김형준(H. J. Kim) ; 남승의(S. Y. Nam) ; 안동훈(D. H. Ahn)
발행기관
한국자기학회
학술지명
한국자기학회지(Journal of the Korean Magneitcs Society)
권호사항

Vol.5 No.5 [1995]
발행연도
1995
작성언어
Korean
KDC
428
등재정보
KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
https://www.magnetics.or.kr
수록면

874-879(6쪽)
제공처
ScienceON, DBpia
소장기관
- 서울대학교 중앙도서관
- 영남대학교 과학도서관

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다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Magnetic properties of FeMoN, FeMoTaN, FeTaN and FeTaC films deposited by DC magnetron reactive sputter were investigated, and correlated with their microstructure. FeMoN films were not showen the soft magnetic properties, because of generated Fe₂Mo, Fe_(3-2)N and Fe₄N phases. Ta added films, however, effectivly retarded the α-Fe grain growth and suppressed the generation of Fe nitrides or carbides during heat treatement. The soft magnetic properties of Bs: 15 kG, Hc: 0.25 Oe, μ' 4000(at 5 ㎒), and Bs: 14.5 kG, Hc: 0.25 Oe, μ': 2700 (5㎒) were observed in Fe_(78.8)Ta_(8.5)N_(12.7) and Fe_(75.6)Ta_(8.l)C_(16.3) films, respectively.

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Magnetic properties of FeMoN, FeMoTaN, FeTaN and FeTaC films deposited by DC magnetron reactive sputter were investigated, and correlated with their microstructure. FeMoN films were not showen the soft magnetic properties, because of generated Fe₂Mo...

Magnetic properties of FeMoN, FeMoTaN, FeTaN and FeTaC films deposited by DC magnetron reactive sputter were investigated, and correlated with their microstructure. FeMoN films were not showen the soft magnetic properties, because of generated Fe₂Mo, Fe_(3-2)N and Fe₄N phases. Ta added films, however, effectivly retarded the α-Fe grain growth and suppressed the generation of Fe nitrides or carbides during heat treatement. The soft magnetic properties of Bs: 15 kG, Hc: 0.25 Oe, μ' 4000(at 5 ㎒), and Bs: 14.5 kG, Hc: 0.25 Oe, μ': 2700 (5㎒) were observed in Fe_(78.8)Ta_(8.5)N_(12.7) and Fe_(75.6)Ta_(8.l)C_(16.3) films, respectively.