- 1. 서론
- 2. 연속공정의 특성 및 예
- 3. 연속공정자동화시스템의 국내외 현황
- 4. 연속공정자동화를 위한 전동기 Group Control 기술
- 5. 결론
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1990
Korean
학술저널
50-58(9쪽)
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반도체 무인화 제조공정을 위한 Wafer Handling 자동화기술의 현황