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      Principles of chemical vapor deposition

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      https://www.riss.kr/link?id=M9012168

      • 저자
      • 발행사항

        Dordrecht ; Boston : Kluwer Academic Publishers, 2003

      • 발행연도

        2003

      • 작성언어

        영어

      • 주제어
      • DDC

        671.7/35 판사항(20)

      • ISBN

        1402012489 (alk. paper) : EMU97.00

      • 자료형태

        일반단행본

      • 서명/저자사항

        Principles of chemical vapor deposition / by Daniel M. Dobkin and Michael K. Zuraw.

      • 형태사항

        xi, 273 p. : ill. ; 25 cm.

      • 일반주기명

        Includes bibliographical references and index.

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