Zeolite를 이용한 저 유전성 기판재료의 특성에 관한 연구 = (The) Study on the Characteristics of Low Dielectric Substrate Using a Zeolite

국문 초록 (Abstract)

Na-X Zeolite의 이온 교환에 의해 합성한 Anorthite에 New Zealand Kaolin으로 합성한 Codierite를 혼합하여 1030℃의 소결온도로 Anorthite/ Codierite 복합체를 제조하었다. Zeolite의 결정→비정질→결정화 과정을 통하여 Cu, Au, Ag-Pb등의 배선 사용이 가능한 저온에서 치밀한 소결체를 얻을 수 있었다. Cordierite 30wt% 이하 조성에서 유전상수는 5.68-4.53 (1MHz), 열팽창율은 5.68-4.53. 1O^(-6)/℃, 꺽임강도 179- 112Mpa로 high-performed substrate로 우수한 특성을 나타내었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Anorthite/codierite composites for substrate were fabricated by Anorthite synthesized from Na-X zeolite ion exchanged and Cordierite synthesized from New Zealand Kaolin at 1300℃
By the Crystal→Amorphous→Crystal process of Zeolite, the composites were densified at low sintering temperature in air, allowing cofiring with Cu, Ag, Au and Ag-Pb. Under the composites of 30wt% Cordierite had good properties for high-performed substrate, such as low dielectric constant(5.68-4.53, at 1MHz), low coefficient of thermal expansion(5.68-4.53. 10^(-6) / ℃) and bending strength of 179-112Mpa.

목차 (Table of Contents)

• 1. 서론 = 1
• 2. 이론적 배경 = 3
• 가. 연구개발의 목적과 필요성 = 3
• 나. 기판재료의 특성 = 7
• 다. 재료의 선택 = 10
• 라. 소결기구 및 물리적 특성 = 15
• 1) 소결기구 = 15
• 2) 기계적 특성 = 15
• 3) 유전율 = 15
• 3) 열전도율 = 16
• 3. 실험 방법 = 17
• 가. 출발원료 = 17
• 나. 시편제조 = 19
• 다. 시편의 물성측정 = 22
• 1) 기공율, 비중 및 소성수축율 = 22
• 2) 꺾임강도 측정 = 22
• 3) 유전율 측정 = 22
• 4) 열팽창율 측정 = 22
• 5) 상분석 및 미세구조 관찰 = 22
• 4. 결과 및 고찰 = 23
• 가. X-선 회절분석 = 23
• 나. 기공율 및 밀도 = 25
• 다. 소성 수축율 = 28
• 라. 꺽임강도 = 30
• 마. 유전율 = 32
• 바. 열팽창율과 미세구조 = 34
• 5. 결론 = 37
• Reference = 38