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이 학술지의 논문 검색
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PAALD 방법을 이용한 TaN 박막의 구리확산방지막 특성
부성은, 정우철,배남진,권용범,박세종,이정희 한국반도체디스플레이기술학회 2003 p.5-8
12" 웨이퍼 Spin etcher용 실시간 박막두께 측정장치의 개발
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초고속 소자를 위한 Junction Technology 연구
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반도체 초정밀장비의 진동허용규제치를 고려한 지지구조의 동특성 개선에 관한 연구
손성완, 이홍기,백재호 한국반도체디스플레이기술학회 2003 p.25-30
재료의 기계적 물성측정 시험장치를 위한 이중서보 시스템에 관한 연구
최현석, 송치우,한창수,이형욱,최태훈,이낙규,나경환 한국반도체디스플레이기술학회 2003 p.31-37