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      평판형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구 = Characteristics of Inductively Coupled Plasma with a Multiple U-Type Internal Antenna for Flat Panel Display Applications

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      https://www.riss.kr/link?id=A103588911

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      In this study, the characteristics of large area internal linear ICP sources of 1020mm X 920mm(substrate area is 880 X 660mm) were investigated using two different types of antenna, that is, a conventional serpentine-type antenna and a newly developed multiple U-type antenna. The multiple antenna showed a higher plasma density, a higher radical density, and more plasma stability compared to the serpentine-type antenna, and it appeared from the higher inductively coupling and less standing wave effect compared to the serpentine-type antenna. Using the multiple U-type antenna, the plasma density of $2\times10^{11}/cm^3$ with the plasma uniformity of 4% could be obtained using 15mTorr Ar and 5000W of RF power.
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      In this study, the characteristics of large area internal linear ICP sources of 1020mm X 920mm(substrate area is 880 X 660mm) were investigated using two different types of antenna, that is, a conventional serpentine-type antenna and a newly developed...

      In this study, the characteristics of large area internal linear ICP sources of 1020mm X 920mm(substrate area is 880 X 660mm) were investigated using two different types of antenna, that is, a conventional serpentine-type antenna and a newly developed multiple U-type antenna. The multiple antenna showed a higher plasma density, a higher radical density, and more plasma stability compared to the serpentine-type antenna, and it appeared from the higher inductively coupling and less standing wave effect compared to the serpentine-type antenna. Using the multiple U-type antenna, the plasma density of $2\times10^{11}/cm^3$ with the plasma uniformity of 4% could be obtained using 15mTorr Ar and 5000W of RF power.

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      참고문헌 (Reference)

      1 "Characteristics of Inductively Coupled Plasma with a MultipleU-Type Internal Antenna for Flat Panel Display ApplicationsJ. H. Lim*" McGraw-Hill 1996

      1 "Characteristics of Inductively Coupled Plasma with a MultipleU-Type Internal Antenna for Flat Panel Display ApplicationsJ. H. Lim*" McGraw-Hill 1996

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      2017-01-01 평가 우수등재학술지 선정 (계속평가)
      2014-06-16 학술지명변경 한글명 : Applied Science and Convergence Technology -> 한국진공학회지 KCI등재
      2014-02-06 학술지명변경 한글명 : ASCT -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2014-02-05 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> ASCT
      외국어명 : Journal of the Koren Vacuum Society -> Applied Science and Convergence Technology      		 KCI등재
      2014-01-01 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2005-05-23 학술지명변경 외국어명 : Journal of the Koren Cacuum Society -> Journal of the Koren Vacuum Society KCI등재
      2005-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) KCI등재후보
      2003-01-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
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      학술지 인용정보

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      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.12 0.12 0.15
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.13 0.1 0.328 0.03
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