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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived using system identification tool and reduced second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H<SUB>∞</SUB> controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied.
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      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, ...

      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived using system identification tool and reduced second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H<SUB>∞</SUB> controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 시스템 구성 및 제어
      • 3. 결론
      • 참고문헌
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 시스템 구성 및 제어
      • 3. 결론
      • 참고문헌
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