
http://chineseinput.net/에서 pinyin(병음)방식으로 중국어를 변환할 수 있습니다.
변환된 중국어를 복사하여 사용하시면 됩니다.
https://www.riss.kr/link?id=T10869431
서울 : 서울대학교 대학원, 2007
2007
영어
구리배선공정 ; 구리 확산 ; 확산방지막 ; 원자층증착법 ; 다공성 저유전율 유전재료 ; WNxCy ; SiOCH ; copper metallization ; copper migration ; Cu diffusion ; diffusion barrier ; atomic layer deposition (ALD) ; low-k dielectric ; nucleation and growth ; initial transient region of ALD ; plasma treatment ; pore sealing ; Cu ; SiO2 ; WNxCy ; SiOCH ; capacitance-voltage (C-V) measurement ; transmission electron microscopy (TEM) ; barrier performance
620.1 판사항(20)
서울
xx, 168 p. : 삽도 ; 26 cm.
참고문헌 수록.
0
상세조회0
다운로드