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      AFM에서의 정량적 힘 측정을 위한 마이크로 캔틸레버의 강성 교정

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      https://www.riss.kr/link?id=A76286400

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      Calibration of the spring constants of atomic force microscopy (AFM) cantilevers is one of the issues in biomechanics and nanomechanics for quantified force metrology at pico- or nano Newton level. In this paper, we present an AFM cantilever calibration system: the Nano Force Calibrator (NFC), which consists of a precision balance and a one-dimensional stage. Three types of AFM cantilevers (contact and tapping mode) with different shapes (beam and V) and spring constants (42, 1,0.06 N m') are investigated using the NFC. The calibration results show that the NFC can calibrate the micro cantilevers ranging from 0.01 - 100 N rn with relative uncertainties ofless than 2%.
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      Calibration of the spring constants of atomic force microscopy (AFM) cantilevers is one of the issues in biomechanics and nanomechanics for quantified force metrology at pico- or nano Newton level. In this paper, we present an AFM cantilever calibrati...

      Calibration of the spring constants of atomic force microscopy (AFM) cantilevers is one of the issues in biomechanics and nanomechanics for quantified force metrology at pico- or nano Newton level. In this paper, we present an AFM cantilever calibration system: the Nano Force Calibrator (NFC), which consists of a precision balance and a one-dimensional stage. Three types of AFM cantilevers (contact and tapping mode) with different shapes (beam and V) and spring constants (42, 1,0.06 N m') are investigated using the NFC. The calibration results show that the NFC can calibrate the micro cantilevers ranging from 0.01 - 100 N rn with relative uncertainties ofless than 2%.

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      참고문헌 (Reference)

      1 Bhushan, "Nanoindentation hardness measurements using atomic force microcopy" 64 (64): 1653-1655, 1994.

      2 Bhushan, "Micro nanoscale friction and wear mechanics of thin films using atomic force and friction force microscopy" Acta Mater 46 (46): 3793-3804, 1998.

      3 Kim, "Mechanical Property Measurement in Nano Imprint Process" J. of the KSPE 21 (21): 7-14, 2004.

      4 HYPERLINK, "Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement" 1998.

      5 Park, "Fabrication of Micro Diamond Tip Cantilever for AFM-based Tribo-Nanolithography" J. of the KSPE 23 (23): 39-46, 2006.

      6 Burnham, "Comparison of calibration methods for atomic-force microscopy cantilevers" 14 (14): 1-6, 2003.

      7 Tortonese, "Characterization of application specific probes for SPMs" 3009 : 53-60, 1997.

      8 Gibson, "Calibration of silicon atomic force microscope cantilevers" 16 (16): 234-238, 2005.

      9 Hutter, "Calibration of atomic-force microscope tips" Rev. Sci. Instrum 64 : pp.1868-18731993.

      10 Kim, "Atomic force microscope cantilever calibration device for quantified force metrology at micro- or nano-scale regime: nano force calibrator (NFC)" Metrologia 43 (43): 389-395, 2006.

      1 Bhushan, "Nanoindentation hardness measurements using atomic force microcopy" 64 (64): 1653-1655, 1994.

      2 Bhushan, "Micro nanoscale friction and wear mechanics of thin films using atomic force and friction force microscopy" Acta Mater 46 (46): 3793-3804, 1998.

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      4 HYPERLINK, "Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement" 1998.

      5 Park, "Fabrication of Micro Diamond Tip Cantilever for AFM-based Tribo-Nanolithography" J. of the KSPE 23 (23): 39-46, 2006.

      6 Burnham, "Comparison of calibration methods for atomic-force microscopy cantilevers" 14 (14): 1-6, 2003.

      7 Tortonese, "Characterization of application specific probes for SPMs" 3009 : 53-60, 1997.

      8 Gibson, "Calibration of silicon atomic force microscope cantilevers" 16 (16): 234-238, 2005.

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      10 Kim, "Atomic force microscope cantilever calibration device for quantified force metrology at micro- or nano-scale regime: nano force calibrator (NFC)" Metrologia 43 (43): 389-395, 2006.

      11 Kim, "Atomic Force Microscope Probe Calibration by use of a Commercial Precision Balance" Proc. of KSPE 637-640, 2005.

      12 Alessandrini, "AFM:a versatile tool in biophysics" Meas. Sci. Technol. 16 (16): 65-92, 2005.

      13 Cho, "A study of force calibration of symmetric AFM cantilever to standardize AFM nano-indentation tests ; Proc. of the 8th Korean MEMS Conference" 438-441, 2006.

      14 Kim, "A new technique for measuring Young’s modulus of electroplated nickel using AFM" 17 (17): 2343-2348, 2006.

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      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2008-06-23 학회명변경 영문명 : Korean Society Of Precision Engineering -> Korean Society for Precision Engineering KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2006-07-07 학술지명변경 외국어명 : 미등록 -> Journal of the Korean Society for Precision Engineering KCI등재
      2006-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2001-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
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