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2000년
eng
0921-5107
1873-4944
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B
60-63 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
Advances in silicon substrates
Symposium E
Strasbourg, France
1999; Jun
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Characterisation of epitaxial layers on silicon by spectroscopic ellipsometry
TEM characterisation of high pressure-high-temperature-treated Czochralski silicon samples