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As the industry requiring clean vacuum condition like semiconductor and display manufacturing expands, importance of dry vacuum pumps has been increased. Screw-type dry vacuum pump, occupying major share with multi-stage roots pump in dry-pump market, has big strength specially in harsh application area accompanying serious by-product accumulation. Recently, development in screw-type pump has been focused on improving energy efficiency. In this article, technology of screw-type dry vacuum pump is reviewed and the requirement for actual industrial application is considered. In addition, the expected evolution for screw-type dry pump in near future is also described.

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참고문헌 (Reference)

1 정광화, 1 (1): 1992

2 김홍배, "진공의 기초" 전자재료사 29-34, 2002

3 주장헌, "진공기술 실무" 홍릉과학출판사 48-56, 2004

4 "주)엘오티베큠 기술연구소 기술보고서, 비공개 자료"

5 ISO 3529 II, "Vacuum Technology: Vocabulary Part II""

6 L. Holland, "Vacuum"

7 L. Laurenson, "J. Vac. Sci" A6 (A6): 1988

8 H. Wycliffe, "J. Vac. Sci" A5 (A5): 1987

9 D. Sung, "J. Korean Vac" 15 (15): 2006

10 국제 표준화기구, "International Standard Organization) 와 미국진공학회 (American Vacuum Society)의 기준에 따른 정의"

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10 국제 표준화기구, "International Standard Organization) 와 미국진공학회 (American Vacuum Society)의 기준에 따른 정의"

11 P. Duval, "High Vacuum Production in the Microelectronics Industry" Elsevier 1988

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