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Atomic layer deposition grown MOx thin films for solar water splitting: Prospects and challenges
Singh, Trilok American Institute of Physics 2015
Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis
Gao, Feng; Arpiainen, Sanna; Puurunen, Riikka L. American Institute of Physics 2015
Atmospheric pressure plasma enhanced spatial ALD of silver
van den Bruele, F.J.; Smets, M.; Illiberi, A.; Creyghton, Y.; Buskens, P.; Roozeboom, F.; Poodt, P. American Vacuum Society 2015 p.01A131
Miikkulainen, V.; Nilsen, O.; Li, H.; King, S.W.; Laitinen, M.; Sajavaara, T.; Fjellvag, H. American Vacuum Society 2015 p.01A101
Atomic layer deposition of aluminum sulfide thin films using trimethylaluminum and hydrogen suifide
Sinha, S.; Mahuli, N.; Sarkar, S.K. American Vacuum Society 2015 p.01A139
Kraus, T.J.; Nepomnyashchii, A.B.; Parkinson, B.A. American Vacuum Society 2015 p.01A135
Hennessy, J.; Jewell, A.D.; Greer, F.; Lee, M.C.; Nikzad, S. American Vacuum Society 2015 p.01A125
Mahuli, N.; Sarkar, S.K. American Vacuum Society 2015 p.01A150
Yu, W.; Ji, S.; Cho, G.Y.; Noh, S.; Tanveer, W.H.; An, J.; Cha, S.W. American Vacuum Society 2015 p.01A145
Clancey, J.W.; Cavanagh, A.S.; Kukreja, R.S.; Kongkanand, A.; George, S.M. American Vacuum Society 2015 p.01A130
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