주사 전자 현미경의 대물 렌즈 제조 및 금상학적 성능 평가 = Fabrication and Performance Test of Objective Lens of Scanning Electron Microscope

국문 초록 (Abstract)

주사전자현미경용 마그네틱 렌즈의 국산화를 위하여 대물 렌즈의 설계, 제작 및 성능 시험을 수행하였다 선정된 소재는 평균 입도가 ASTM 입도 번호 3에 해당되는 armoco 철이다 마그네틱 렌즈의 중앙에 O D 50 5 mm, I D 38 0 mm의 원통으로 본체와의 연결을 위하여 2 쌍의 구멍이 4 군데가 있고 바닥에 4 곳의 나사 구멍이 있으며 진공을 유지하기 위하여 이중의 O-링이 삽입되게 설계되었다 마그네틱 렌즈 소재의 인장 강도, 항복 강도 및 연신율을 각각 25.4 kg/㎟, 13kg/㎟, 65% 이며 경도는 63 HB이었다 0 1N-H_2SO_4 수용액에서의 부식전압과 부식 속도는 -260 m_V_SHE 와 5 53×10^-5 A/㎠ 이고 평균 거칠기 (average roughness. RA)는 2 1 ㎛이었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Objective lens of a scanning electron microscope was designed, manufactured, and its performance test was carried. The selected material for the magnetic Iens was armoco steel with the average grain size of ASTM # 3. The lens is a type of tube with 50 5 mm in O D and 38 8 mm in ID, which has 4 pairs of hole to fix itself in a main body and has a space for 0-ring to keep the vacuum inside. The mechanical properties of the materials such as UTS, yield strength, elongation and hardness were 25 4 kg/㎟, 13kg/㎟, 65% and 63 HB, respectively. Corrosion rate and corrosion potential In 0 1N-H_2SO_4 aqueous solution were -260 m_V_SHE and 5 53×10^-5 A/㎠ respectively. The average roughness of the surface was 2 1 ㎛

목차 (Table of Contents)

• 1. 서 론
• 2. 실험 방법
• (1) 마그네틱 렌즈 소재의 선정
• (2) 설계
• (3) 금상학적인 기초 성능 평가
• 3. 결과 및 고찰
• 4. 결 론