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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      부가증착을 이용한 마이크로 구멍의 크기감소 = Size reduction of micro-aperture using additional deposition

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      https://www.riss.kr/link?id=A76215691

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      Size reduction of micro-aperture using additional deposition is presented in this study. PECVD process was used for additional deposition. Rate of deposition is different with deposition direction because corners of shadowmask membrane have a taper. Deposition into backside showed better than deposition into frontside with size reduction. Shadowmask membrane with two materials has stress because of the difference of a coefficient of thermal expansion The cantilever of membrane bend to opposite direction of deposition. Deposition to both frontside and backside could reduce inside stress.
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      Size reduction of micro-aperture using additional deposition is presented in this study. PECVD process was used for additional deposition. Rate of deposition is different with deposition direction because corners of shadowmask membrane have a taper....

      Size reduction of micro-aperture using additional deposition is presented in this study. PECVD process was used for additional deposition. Rate of deposition is different with deposition direction because corners of shadowmask membrane have a taper. Deposition into backside showed better than deposition into frontside with size reduction. Shadowmask membrane with two materials has stress because of the difference of a coefficient of thermal expansion The cantilever of membrane bend to opposite direction of deposition. Deposition to both frontside and backside could reduce inside stress.

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 실험
      • 3. 구멍크기감소
      • 4. 결론
      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 실험
      • 3. 구멍크기감소
      • 4. 결론
      • 참고문헌
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