2 개의 병진-병진 관절형 병렬 탄성 메커니즘을 갖는 압전구동 소형 XY 스테이지

목차 (Table of Contents)

• 1. 서론
• 2. 소형 XY 스테이지의 구조
• 3. 소형 XY 스테이지의 실험 및 결과 고찰
• 4. 결론
• 참고문헌

참고문헌 (Reference)

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