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      미진동 저감을 위한 복합형 전자기식 작동기의 개발에 대한 연구

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      다국어 초록 (Multilingual Abstract)

      A hybrid electromagnetic actuator with an air mount is designed so as to achieve the desired isolation reduce the vibration efficiency on the floor vibration. The performance specification of the hybrid electromagnetic actuator is determined based on the vibration criterion for vibration-sensitive equipment. In the design stage of the electromagnetic actuator, the simple reluctance method is adapted to analyze magnetic circuits. The result is verified by finite element analysis using ANSYS Emag. Finally, in order to confirm the design performance, a dynamic characteristic test is carried out for the prototype of a hybrid electromagnetic actuator.
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      A hybrid electromagnetic actuator with an air mount is designed so as to achieve the desired isolation reduce the vibration efficiency on the floor vibration. The performance specification of the hybrid electromagnetic actuator is determined based on ...

      A hybrid electromagnetic actuator with an air mount is designed so as to achieve the desired isolation reduce the vibration efficiency on the floor vibration. The performance specification of the hybrid electromagnetic actuator is determined based on the vibration criterion for vibration-sensitive equipment. In the design stage of the electromagnetic actuator, the simple reluctance method is adapted to analyze magnetic circuits. The result is verified by finite element analysis using ANSYS Emag. Finally, in order to confirm the design performance, a dynamic characteristic test is carried out for the prototype of a hybrid electromagnetic actuator.

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      참고문헌 (Reference)

      1 장한기, "정밀 가공 장비를 위한 방진 시스템 설계 사례" 한국소음진동공학회 16 (16): 307-312, 2006

      2 김광준, "상판 위 질량의 순간적인 움직임에 의해 가진되는 6-자유도 공압제진대의 진동 응답에 대한 연구" 한국소음진동공학회 17 (17): 515-523, 2007

      3 김광준, "공압능동제어를 이용한 저주파 영역에서의 공압제진대 제진성능 개선에 대한 연구" 한국소음진동공학회 17 (17): 72-79, 2007

      4 임경화, "공기스프링을 이용한 방진테이블의 능동 제어" 한국소음진동공학회 17 (17): 565-571, 2007

      5 문석준, "공기스프링과 압전작동기를 결합한 복합형 미진동 방진마운트 시스템 개발" 한국소음진동공학회 21 (21): 56-65, 2011

      6 Kim, H. T., "Performance Estimation of Active Electro-magnetic Isolator for Semiconductor Manufacturing Machine" 579-580, 2009

      7 Braucer, J. R., "Magnetic Actuators and Sensors, IEEE Magnetic Society" Wiley-Interscience 2006

      8 Gordon, C. G., "Generic Criteria for Vibration-sensitive Equipment" 71-85, 1991

      9 Amick, H., "Evolving Criteria for Research Facilities: I - Vibration" 1-13, 2005

      1 장한기, "정밀 가공 장비를 위한 방진 시스템 설계 사례" 한국소음진동공학회 16 (16): 307-312, 2006

      2 김광준, "상판 위 질량의 순간적인 움직임에 의해 가진되는 6-자유도 공압제진대의 진동 응답에 대한 연구" 한국소음진동공학회 17 (17): 515-523, 2007

      3 김광준, "공압능동제어를 이용한 저주파 영역에서의 공압제진대 제진성능 개선에 대한 연구" 한국소음진동공학회 17 (17): 72-79, 2007

      4 임경화, "공기스프링을 이용한 방진테이블의 능동 제어" 한국소음진동공학회 17 (17): 565-571, 2007

      5 문석준, "공기스프링과 압전작동기를 결합한 복합형 미진동 방진마운트 시스템 개발" 한국소음진동공학회 21 (21): 56-65, 2011

      6 Kim, H. T., "Performance Estimation of Active Electro-magnetic Isolator for Semiconductor Manufacturing Machine" 579-580, 2009

      7 Braucer, J. R., "Magnetic Actuators and Sensors, IEEE Magnetic Society" Wiley-Interscience 2006

      8 Gordon, C. G., "Generic Criteria for Vibration-sensitive Equipment" 71-85, 1991

      9 Amick, H., "Evolving Criteria for Research Facilities: I - Vibration" 1-13, 2005

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      2017-01-01 평가 등재학술지 유지 (계속평가) KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2009-02-05 학회명변경 영문명 : Korean Society For Noise And Vibration Engeering (Ksnve) -> Korean Society for Noise and Vibration Engineering(KSNVE) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2006-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2001-07-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      1999-01-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
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      2016 0.28 0.28 0.26
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