1 김용식 ; 이은택 ; 양기영, "산업용 클린룸 내 초미립자 가시화 시스템 개발 및 성능 검증" 대한건축학회 22 (22): 357-364, 2006
2 최광민 ; 이지은 ; 조귀영 ; 김관식 ; 조수헌, "반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템" 한국산업보건학회 25 (25): 202-210, 2015
3 최부헌 ; 김태한, "공조풍량별 식생바이오필터의 입자상 오염물질 저감효과 연구" 한국반도체디스플레이기술학회 20 (20): 89-95, 2021
4 PMS, "Particle Transportation"
5 Seung-Ki Chae, "Particle Measurement and Analysis in Semiconductor Manufacturing Process" 39 (39): 398-404, 1995
6 International Organization for Standardization (ISO), "ISO 14644-1, Cleanrooms and associate controlled environments-Part 1: classification of air cleanliness"
7 PMS, "An Analysis of Acceptable Particle Losses in Transport Tubing"
8 PMS, "Airborne Particle Measurements: 100 LPM vs. 1 CFM Particle Counters in a Semiconductor Cleanroom Environment"
1 김용식 ; 이은택 ; 양기영, "산업용 클린룸 내 초미립자 가시화 시스템 개발 및 성능 검증" 대한건축학회 22 (22): 357-364, 2006
2 최광민 ; 이지은 ; 조귀영 ; 김관식 ; 조수헌, "반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템" 한국산업보건학회 25 (25): 202-210, 2015
3 최부헌 ; 김태한, "공조풍량별 식생바이오필터의 입자상 오염물질 저감효과 연구" 한국반도체디스플레이기술학회 20 (20): 89-95, 2021
4 PMS, "Particle Transportation"
5 Seung-Ki Chae, "Particle Measurement and Analysis in Semiconductor Manufacturing Process" 39 (39): 398-404, 1995
6 International Organization for Standardization (ISO), "ISO 14644-1, Cleanrooms and associate controlled environments-Part 1: classification of air cleanliness"
7 PMS, "An Analysis of Acceptable Particle Losses in Transport Tubing"
8 PMS, "Airborne Particle Measurements: 100 LPM vs. 1 CFM Particle Counters in a Semiconductor Cleanroom Environment"