다구치 방법을 사용하여 지반진동을 받는 감쇠구조물의 진동저감 연구

국문 초록 (Abstract)

현대 산업이 고도화 되어감에 따라 연구, 개발 및 생산, 검사공정 등 다양한 분야에서 정밀장비의 기여도는 날로 증가하고 있다. 정밀공정 산업의 핵심 기술이 소형화와 고집적화, 대용량화됨에 따라 고 정밀도가 요구되며 고정밀 공정에서의 신뢰성 확보가 시급한 상황이다. 지반진동은 지진, 설비, 인근차량 혹은 주변 인력의 유동 등 많은 복합적인 요소들을 변수로 갖는다. 또한 반도체 설비의 경우 구조가 복잡하여 해석하기에 많은 시간을 필요로 하며, 그에 따라 본 연구에서는 n층 전단구조물을 통한 구조의 단순화와 지반진동의 가속도신호를 측정하여 변위에 대한 해석을 통하여 구조변경 및 재해석 시간을 감소시켰다. 이 때, 지반진동의 가속도신호에 관한 해석에서 변위신호로의 변환과정 중 일부 노이즈의 영향을 보완하기 위하여 0.5Hz이하의 주파수 성분을 고역 통과 필터(High Pass Filter)를 사용하여 제거하였으며 실험 결과의 신뢰도를 높였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

As modern industry becomes more sophisticated, the contribution of precision equipments in various fields such as research, development, production, inspection process is increasing day by day. As the core technology of precision processing industry becomes smaller, higher integration and larger capacity, high precision is required and it is urgent to secure reliability in high precision process. Ground vibration has many complex factors such as earthquake, facilities, nearby vehicles or the flow of nearby personnel. In this study, the simplification of the structure through the n-story shear structure and the measurement of the acceleration signal of the ground vibration were carried out in this study. And reduced reinterpretation time. In order to compensate the effect of noise, the frequency components below 0.5Hz were removed by using a high pass filter and the reliability of the experimental results was improved.

목차 (Table of Contents)

• 제 1 장 서 론 1
• 1.1 연구 배경 1
• 1.2 연구 동향 1
• 1.3 연구 내용 및 목적 2
• 제 2 장 이론 3
• 2.1 n층 전단구조물 진동 모델 3
• 2.2 운동방정식의 적용 4
• 2.3 전달 행렬법 8
• 2.4 다구치 방법 12
• 2.4.1 다구치 실험계획법 12
• 2.4.2 다구치 방법에서의 인자와 직교배열 13
• 2.4.3 손실함수와 망(목,소,대)특성 14
• 2.5 주파수영역 해석법을 이용한 응답해석 17
• 2.6 콘볼루션 17
• 제 3 장 신호분석 19
• 3.1 지반진동 신호 수집 19
• 3.2 신호변환 20
• 3.3 고유진동수와 고유모드 24
• 제 4 장 결과 및 고찰 26
• 4.1 다구치 실험계획법 적용 26
• 4.2 다구치 방법을 이용한 진동저감 28
• 제 5 장 결 론 36
• 참고문헌 37
• Abstract 39