Frontiers of characterization and metrology for nanoelectronics : 2009 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics : Albany, New York, 11-15 May 2009|RISS 상세보기

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저자

Seiler, David G
발행사항
Melville, N.Y. : AIP Conference Proceedings, c2009
발행연도
2009
작성언어
영어
주제어

Integrated circuits ; Integrated circuits
DDC
621.3815 판사항(22)
ISBN
9780735407121 (hbk.)
0735407126 (hbk.)
자료형태
단행본(다권본)
발행국(도시)
New York(State)
서명/저자사항
Frontiers of characterization and metrology for nanoelectronics : 2009 International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics : Albany, New York, 11-15 May 2009 / editors, David G. Seiler ... [et al.].
형태사항
xii, 398 p. : ill. ; 29 cm. + 1 CD-ROM (4 3/4 in.)
총서사항
AIP conference proceedings, 0094-243X ; v. 1173 AIP conference proceedings ; no. 1173.
일반주기명
Previous conferences entitled: Characterization and metrology for ULSI technology.
Includes bibliographical references and indexes.
회의명
International Conference on Frontiers of Characterization and Metrology for Nanoelectronics
소장기관
- 국립중앙도서관
- 서울대학교 중앙도서관
- 울산과학기술원

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