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      구조세라믹스의 ELID경면연삭 가공 특성 = Properties of structural ceramics by ELID grinding technology

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      https://www.riss.kr/link?id=A100496707

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      This study has been focused on properties of mirror surface grinding technology by ELID(ELectrolytic In-process Dressing) for structural ceramics using in high precision structural parts on semi conductor manufacturing processes. ELID grinding is an excellent technique for mirror grinding of various advanced metallic or nonmetallic materials as hard to machining materials. The experimental studies have been carried out to get mirror surface for grinding of structural ceramics, SiC, Al₂O₃ and AlN. Grinding process of the ceramics is carried out with varying mesh type, depth of cut and feed rate using diamond wheel. The machining result of the surface roughness and condition of ground surface, have been analyzed by use of surface roughness tester, SEM and three dimensional surface profiler measurement system.
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      This study has been focused on properties of mirror surface grinding technology by ELID(ELectrolytic In-process Dressing) for structural ceramics using in high precision structural parts on semi conductor manufacturing processes. ELID grinding is an e...

      This study has been focused on properties of mirror surface grinding technology by ELID(ELectrolytic In-process Dressing) for structural ceramics using in high precision structural parts on semi conductor manufacturing processes. ELID grinding is an excellent technique for mirror grinding of various advanced metallic or nonmetallic materials as hard to machining materials. The experimental studies have been carried out to get mirror surface for grinding of structural ceramics, SiC, Al₂O₃ and AlN. Grinding process of the ceramics is carried out with varying mesh type, depth of cut and feed rate using diamond wheel. The machining result of the surface roughness and condition of ground surface, have been analyzed by use of surface roughness tester, SEM and three dimensional surface profiler measurement system.

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 실험 및 평가방법
      • 3. 실험결과 및 고찰
      • 4. 결론
      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 실험 및 평가방법
      • 3. 실험결과 및 고찰
      • 4. 결론
      • 5. 후기
      • 6. 참고문헌
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