본 연구에서는 광학계의 구성이 간단하고 해석이 복잡하지 않은 위상측정 형상측정법(Phase Measuring Profilometry: PMP)을 사용하고 이 방법의 측정 구간의 한계를 극복하기 위해 ‘다파 장 위상천...
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국문 초록 (Abstract)
본 연구에서는 광학계의 구성이 간단하고 해석이 복잡하지 않은 위상측정 형상측정법(Phase Measuring Profilometry: PMP)을 사용하고 이 방법의 측정 구간의 한계를 극복하기 위해 ‘다파 장 위상천...
본 연구에서는 광학계의 구성이 간단하고 해석이 복잡하지 않은 위상측정 형상측정법(Phase Measuring Profilometry: PMP)을 사용하고 이 방법의 측정 구간의 한계를 극복하기 위해 ‘다파 장 위상천이법’을 적용시켜보았다. 그리고 새로운 방법의 격자 생성장치로 필요한 주가의 격자 생성과 위상이송을 구현하였다. 위상천이법에서는 위상값을 구하는 방법인 '일반 버켓 알고리즘' 이 사용됨으로 구해지는 위상값 범위에 한계(±π이내)가 생기게 되어 본 위상을 알아내는데 위 상차수가 필요하게 되도 이는 정수가 된다. 그러나 이미지센서의 비선형성, 회로의 전기적 노이즈, 주변광 잡음등 으로 인해 위상 오차수에 소수부가 포함되고 이로 인한 오차를 줄이기 위해 위상 차수에 포함된 소수부 양만큼의 위상오차를 보정하여 측정 불확도를 낮추었다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
In Phase-shifting PMP, software processing method is a very important means to achieve high accuracy. In order to achieve high measuring accuracy, hardware with higher accuracy and resolution is needed, but sometime such hardware may be not easily obt...
In Phase-shifting PMP, software processing method is a very important means to achieve high accuracy. In order to achieve high measuring accuracy, hardware with higher accuracy and resolution is needed, but sometime such hardware may be not easily obtained. So this paper presents a variable methods to improve measure accuracy - a way of increasing phase step, phase averaging and calibration phase number error. Testing results testify these methods are effective and robust.
목차 (Table of Contents)