불소 플라즈마 에칭시 실리콘 반응 생성물에 대한 온도 영향 = Influence of temperature on Si reaction products in fluorine-based plasmas

국문 초록 (Abstract)

에칭 메커니즘 연구 및 모델링의 기본 데이터는 에칭으로 이어지는 탈착된 휘발성 반응 생성물의 특성연구가 중요한 요소이다. 물론 이러한 반응 생성물의 특성, 특히 화학량론은 온도가 증가하면 크게 변할 수 있으며 에칭 메커니즘도 근본적으로 수정될 수 있게 된다. 이 경우, 에칭의 주요 특성인 동역학 및 등 방성-이방성 에칭 전이가 완전히 달라질 수 있게 된다. 이를 위해 주로 에칭 역학 및 에칭 이방성 측면에서 결과를 도출하기 위해 온도 결과 분석을 수행하는 것이 중요하게 된다. 불소에 의한 실리콘 에칭의 경우 중요한 사항은 실험 조건, 가스 또는 플라즈마, 반응종의 농도 또는 흐름, 온도, 이온 충돌의 함수로서 SixFy 에칭 생성물의 정확한 화학양론이 무엇인지 아는 것이다.