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      전달함수를 이용한 유정압테이블 운동정밀도 해석법의 실험적 검증 = Experimental Verification on Motion Error Analysis Method of Hydrostatic Tables Using Transfer Function

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      목차 (Table of Contents)

      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 레일 형상오차와 테이블 운동오차의 관계
      • 3. 실험장치 및 실험방법
      • 4. 실험결과 및 고찰
      • ABSTRACT
      • 1. 서론
      • 2. 레일 형상오차와 테이블 운동오차의 관계
      • 3. 실험장치 및 실험방법
      • 4. 실험결과 및 고찰
      • 5. 결론
      • 참고문헌
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