반도체, LCD, 휴대폰과 같이 제품 원가에 비해 고부가가치 제품 산업들은 급속한 발전과 새로운 서비스 요구로 인해 제품의 생산에 있어서 제조 스피드가 관건이다. 본 연구에서는 복잡하고 ...
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2008
Korean
반도체 프로세스 ; 시뮬레이션 ; 웨이퍼 처리량 측정
551
학술저널
340-342(3쪽)
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반도체, LCD, 휴대폰과 같이 제품 원가에 비해 고부가가치 제품 산업들은 급속한 발전과 새로운 서비스 요구로 인해 제품의 생산에 있어서 제조 스피드가 관건이다. 본 연구에서는 복잡하고 ...
반도체, LCD, 휴대폰과 같이 제품 원가에 비해 고부가가치 제품 산업들은 급속한 발전과 새로운 서비스 요구로 인해 제품의 생산에 있어서 제조 스피드가 관건이다. 본 연구에서는 복잡하고 다양한 반도체 프로세스 중에서 Track - Aligner - Oxide Etcher - Asher - Sputter - Microscope 프로세스의 모델링을 통하여 평균 생산 시간과 처리량을 측정하여 처리량을 극대화 할 수 있는 생산 시간의 최적화에 대해 고찰하였다.
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