Hollow cathode 법에 의한 NdFeB 박막의 증착 = Deposition of NdFeB thin films by the hollow cathode method

국문 초록 (Abstract)

희토류계 자성박막의 효율적인 제조와 자기적 특성의 향상을 위하여 r.f. hollow cathode sputtering 법의?? NdFeB계 자성박막을 제조하고 열처리한 후 결정 형성 상태와 자기적 특성들을 조사하였다. 상온에서 증착된 박막의 power가 낮고 증착시간이 비교적 짧을 때에는 비정질 상태였으나, power가 증가하거나 증착시간이 길어지면 미?? 결정질이 출현하여 비정질 상과 함께 존재하는 혼합상태를 보이고 있었다. 600 ℃에서 열처리했을 경우 비정질 상의 박막에서는 큰 변화가 없었으나, 결정질이 혼재된 박막에서는 Nd_2fFe_14B상이 α-Fe와 함께 형성되었다. 또한 열처리된 박막에서의 교환상호작용이 예상했던 것보다 원활히 일어나지 않음에 따라 자기적 성질은 유사한 조성의 리본 ?? 금에서 보다 열등하였는데, 특히 보자력의 감소가 두드러졌으며, 이는 α-Fe의 과다한 출현과 열처리에 따른 박막의 산화에 기인한 것으로 생각된다

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Deposition characteristics and magnetic properties of rdFeB thin films prepared by r.f. hollow cathode method were investigated. When the deposition power was low and the deposition time was short, the films grown at r?? temperature were amorphous. On the other hand, a mixture of fine crystallites and amorphous phase was found in the films grown at higher power or for longer time. Annealing at 600 ℃ within 30 min did not largeIy lead to crystallization of ?? amorphous films. However, Nd_2Fe_14B and α-Fe were found together in the mixture films by the same annealing. Magn?? properties of the filmss were worse than those of the ribbon alloys of similar composition due to less exchange coupl?? interaction. Especially, ail obvious drop of the coercivity was thought to be due to excess formation of α-Fe and oxida?? of the films during annealing.

목차 (Table of Contents)

• 1. 서 론
• 2. 실험방법
• 3. 결과 및 고찰
• 4, 결 론