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전대규 ; 김철중 ; 성창호 ; 구할본 ( D . G . Jhun ; C . J . Kim ; C . H . Sung ; H . B . Gu )
1997
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500
학술저널
279-282(4쪽)
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TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법을 이용한 Si 기판의 미세가공