색차 이미지 기법을 기반으로 한 다공질규소 유기물 증기 센서 = Porous Silicon Organic Vapor Sensor Based on the Color-difference Image Technique

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

In this paper, the color-difference image technique was applied to detect organic vapors in a porous silicon gas sensor. The color-difference images were produced by applying a mathematical process to pictures of the sample surface taken by a high-speed CCD (charge-coupled device) camera before and during exposure to organic vapors. Those images clearly provided two-dimensional color-difference information that only showed part of the color change in the sensing area of the porous silicon layer. In addition,the sensitivity and the sensing range of the color-difference response signal were superior to those of other signals such as the photoluminescence and the current responses.

국문 초록 (Abstract)

본 연구에서는 다공질규소 기체 센서를 이용하여 유기물 증기의 민감한검출을 위해 색차 이미지 기법을 적용하였다. 색차 이미지는 시료가유기물 증기에 노출되기 전과 노출 중에 전하결합소자 (charge-coupled device)가 부착된 고속카메라로 시료 표면의 영상을 각각 촬영하고, 이영상들 사이의 수학적인 처리를 통해 얻어졌다. 그 결과 색차 이미지는다공질규소 층의 감지부에서 색이 변한 부분에 대한 이차원적 정보를명확히 보여주었다. 뿐만 아니라 색차 감응 신호의 민감도와 감지 범위는광발광 (photoluminescence) 및 전류 감응 신호와 같은 다른 신호들에비해 그 특성이 우수함을 알았다.

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