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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      ZnO 박막 센서의 암모니아 가스 검지 특성 = Characteristics of Ammonia Gas Detection of ZnO-based Thin Film Sensors

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      The ammonia gas sensors were fabricated with the ZnO-based thin films grown by a RF magnetron sputtering method. We investigated the sensitivity and response time according to temperature variation and ammonia gas concentration. The sensors sputtered in oxygen atmosphere showed higher sensitivity than those sputtered in argon atmosphere. The Au(0.3 wt.%) doped-ZnO thin film sensors aged at 330 ℃ showed the maximum sensitivity of 28 and good response time at a working temperature of 250 ℃ and to 160 ppm ammonia gas. The Pt(0.1 wt.%) doped-ZnO thin film sensors showed the maximum sensitivity at a low working temperature of 200 ℃.
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      The ammonia gas sensors were fabricated with the ZnO-based thin films grown by a RF magnetron sputtering method. We investigated the sensitivity and response time according to temperature variation and ammonia gas concentration. The sensors sputtered ...

      The ammonia gas sensors were fabricated with the ZnO-based thin films grown by a RF magnetron sputtering method. We investigated the sensitivity and response time according to temperature variation and ammonia gas concentration. The sensors sputtered in oxygen atmosphere showed higher sensitivity than those sputtered in argon atmosphere. The Au(0.3 wt.%) doped-ZnO thin film sensors aged at 330 ℃ showed the maximum sensitivity of 28 and good response time at a working temperature of 250 ℃ and to 160 ppm ammonia gas. The Pt(0.1 wt.%) doped-ZnO thin film sensors showed the maximum sensitivity at a low working temperature of 200 ℃.

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