본 연구에서는 RF 플라즈마 화학기상증착 장비를 사용하여 동일조건에서 합성된 100 nm 두께의 DLC박막을 RTA 장비를 사용하여 N₂ 분위기로 여러 가지 온도에서 (300~900℃) 후열처리된 DLC 박막들...
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2005
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500
학술저널
166-167(2쪽)
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본 연구에서는 RF 플라즈마 화학기상증착 장비를 사용하여 동일조건에서 합성된 100 nm 두께의 DLC박막을 RTA 장비를 사용하여 N₂ 분위기로 여러 가지 온도에서 (300~900℃) 후열처리된 DLC 박막들...
본 연구에서는 RF 플라즈마 화학기상증착 장비를 사용하여 동일조건에서 합성된 100 nm 두께의 DLC박막을 RTA 장비를 사용하여 N₂ 분위기로 여러 가지 온도에서 (300~900℃) 후열처리된 DLC 박막들의 마찰특성 변화를 AFM (Atomic Force Microscopy)의 FFM (Friction Force Microscopy) 모드를 사용하여 관찰하였다.
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