- Abstract
- 1. INTRODUCTION
- 2. COMPUTER DISK DRIVES AND REPEATABLE RUNOUT
- 3. DESIGN OF A DISTURBANCE REJECTION CONTROLLER
- 4. SIMULATION RESULTS AND DISCUSSIONS
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2000
English
552
학술저널
60-67(8쪽)
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Tolerance allotment with Design Centering considering Assembly Yield
초미세 위치결정시스템을 이용한 실리콘 웨이퍼의 파괴거동에 관한 연구