He-Ne 레이저의 干涉을 利用한 高精密 리니어 스케일의 製作에 關한 硏究 = (A)study on the manufacturing of high precision linear scale using He-Ne laser interference

목차 (Table of Contents)

• 목차
• 要旨 = i
• 記號 說明 = vi
• 第1章 緖論 = 1
• 第2章 레이져 理論 = 5
• 2-1 He-Ne 레이저 = 5
• 2-1-1 槪要 = 5
• 2-1-2 He-Ne 레이저의 勵起와 緩和 = 6
• 2-1-3 He-Ne 레이저管과 出力 特性 = 8
• 2-1-4 레이저의 波長 安定化 方法 = 10
• 2-1-4-1 Lamb dip을 利用한 波長 安定化 = 10
• 2-1-4-2 Zeeman 效果를 利用한 波長 安定化 = 12
• 2-1-4-3 吸收 스펙트럼을 利用한 波長 安定化 = 13
• 2-2 Ar 이온 레이저 = 14
• 2-2-1 槪要 = 14
• 2-2-2 Ar^+레이저의 勵起와 緩和 = 15
• 2-2-3 Ar 레이저管 = 16
• 第3章 He-Ne 레이저를 利用한 리니어 스케일의 製作 原理 = 18
• 3-1 刻線의 原理 = 18
• 3-2 스케일 블랭크의 처짐에 의한 誤差 = 20
• 3-3 熱膨脹 係數差에 의한 影響 = 24
• 第4章 스케일 間隔 1mm의 리니어 스케일의 製作 = 25
• 4-1 緖言 = 25
• 4-2 實驗 裝置 = 25
• 4-2-1 刻線 및 測定 裝置 = 25
• 4-2-1-1 刻線 裝置의 構成 = 25
• 4-2-1-2 測定 裝置의 構成 = 28
• 4-2-2 레이저 및 各種 電子 回路의 構成 = 32
• 4-2-2-1 He-Ne 波長 安定化 레이저 發生器 = 32
• 4-2-2-2 干涉무늬 檢出 裝置 = 33
• 4-2-2-3 電子 回路의 構成 = 33
• 4-2-2-4 플래시 램프 發光 裝置 = 34
• 4-2-2-5 光 화이버 = 35
• 4-2-2-6 環境 測定 裝置 = 35
• 4-3 리니어 스케일의 製作 = 40
• 4-3-1 製作 方法 = 40
• 4-3-1-1 撮影 = 40
• 4-3-1-2 現像 = 41
• 4-3-1-3 測定 方法 = 42
• 4-4 스케일 블랭크의 製作 方式에 따른 實驗 結果 및 考察 = 43
• 4-4-1 非接着形 = 43
• 4-4-1-1 第1次 製作 = 43
• 4-4-1-2 第2次 製作 = 45
• 4-4-1-3 第3次 製作 = 47
• 4-4-2 接着形 = 49
• 4-4-2-1 스케일 블랭크의 接着 方法 = 49
• 4-4-2-2 第1次 製作 = 50
• 4-4-2-3 第2次 製作 = 51
• 4-5 結言 = 53
• 第5章 스케일 間隔 20㎛의 리니어 스케일의 製作 = 54
• 5-1 結言 = 54
• 5-2 Ar 레이저에 의한 리니어 스케일의 刻線 = 55
• 5-2-1 플래시 램프의 周波數 應答 = 55
• 5-2-2 Ar레이저와 音響光學 變調機를 利用한 刻線의 原理 = 56
• 5-2-3 플래시 램프와의 光量 比較 = 58
• 5-2-4 Ar 레이저에 의한 刻線 = 60
• 5-2-5 Ar 레이저의 適用 結果 및 考察 = 62
• 5-3 리니어 스케일 刻線 및 測定時 環境 條件 變化에 의한 誤差 測定 = 65
• 5-3-1 레이저 干涉 刻線 및 測定에 있어서 環境 測定의 必要性 = 65
• 5-3-2 斷熱槽 內의 溫度 測定 = 67
• 5-3-2-1 溫度 測定 方法 = 67
• 5-3-2-2 溫度 測定 結果 및 考察 = 69
• 5-4 리니어 스케일에 對한 刻線 誤差의 測定 = 71
• 5-4-1 測定 方法 = 71
• 5-4-2 測定 結果 및 考察 = 72
• 5-5 結言 = 77
• 第6章 結論 = 78
• 附錄 = 79
• 參考文獻 = 86
• ABSTRACT = 95