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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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§ ※ ☆ ★ ○ ● ◎ ◇ ◆ □ ■ △ ▽ → ← ↑ ↓ ↔ 〓 ◁ ◀ ▷ ▶ ♤ ♠ ♡ ♥ ♧ ♣ ⊙ ◈ ▣ ◐ ◑ ▒ ▤ ▥ ▨ ▧ ▦ ▩ ♨ ☏ ☎ ☜ ☞ † ‡ ↕ ↗ ↙ ↖ ↘ ♭ ♩ ♪ ♬ ㉿ ㈜ № ㏇ ™ ㏂ ㏘ ℡ ＃ ＆ ＊ ＠ ª º
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      산소량에 따른 $SnO_x$ 박막의 음극 특성 = Anode Characteristics of $SnO_x$ Films with Various Oxygen Contents

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      https://www.riss.kr/link?id=A101101873

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      In this experiments, tin oxide thin film anode for microbattery was deposited by using RF magnetron sputtering. The RF power and operating pressure during deposition were fixed at $2.5W/cm^2$ and 10mTorr respectively. The partial pressure of oxygen was varied from $0\%\;to\;100\%$ to control oxygen content and metal Sn chips were used further reducing of oxygen content. According to reduction in the oxygen content formation of the irreversible $Li_2O$ was reduced a thin film anode of $SnO_x$ of high capacity was fabricated. The optimum $SnO_x$, thin film was $SnO_{1.43}$ which exhibited a reversible capacity of $ 500{\mu}Ah/cm^2{\mu}m$ and exhibited good reversibility.
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      In this experiments, tin oxide thin film anode for microbattery was deposited by using RF magnetron sputtering. The RF power and operating pressure during deposition were fixed at $2.5W/cm^2$ and 10mTorr respectively. The partial pressure of oxygen wa...

      In this experiments, tin oxide thin film anode for microbattery was deposited by using RF magnetron sputtering. The RF power and operating pressure during deposition were fixed at $2.5W/cm^2$ and 10mTorr respectively. The partial pressure of oxygen was varied from $0\%\;to\;100\%$ to control oxygen content and metal Sn chips were used further reducing of oxygen content. According to reduction in the oxygen content formation of the irreversible $Li_2O$ was reduced a thin film anode of $SnO_x$ of high capacity was fabricated. The optimum $SnO_x$, thin film was $SnO_{1.43}$ which exhibited a reversible capacity of $ 500{\mu}Ah/cm^2{\mu}m$ and exhibited good reversibility.

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