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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived by a second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H∞ controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied. Experimental results found that this stage could be controlled below 5㎜ resolution and irrespective of hysteresis and creep by this designed controller.
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      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, ...

      The ultra-precision positioning system is demanded for some industrial fields, such as semiconductor lithography and fabrication of the nano structure. In this paper, the ultra-precision stage which consists of flexure hinges, piezoelectric actuator, and ultra-precision linear encoder, is designed and developed. From the step responses of the system, the system transfer function of the ultra-precision stage system was derived by a second order model system. In order to have robustness for the system uncertainty and external disturbances, the weighting functions were selected and the H∞ controller was designed using them. For the designed controller, the simulation was performed and the designed stage system was applied. Experimental results found that this stage could be controlled below 5㎜ resolution and irrespective of hysteresis and creep by this designed controller.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 시스템 구성 및 제어
      • 3. 결론
      • 참고문헌
      • Abstract
      • 1. 서론
      • 2. 시스템 구성 및 제어
      • 3. 결론
      • 참고문헌
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