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Li, X.-Y. ; Wang, F. ; La, T. ; Ling, Z.-M.
2004년
eng
0894-6507
SCI;SCIE;SCOPUS
학술저널
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
267-272 [※수록면이 p5 이하이면, Review, Columns, Editor's Note, Abstract 등일 경우가 있습니다.]
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