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      Non-Invasive Plasma Monitoring Tools and Multivariate Analysis Techniques for Sensitivity Improvement

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      https://www.riss.kr/link?id=A104450593

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      In this article, plasma monitoring tools and mulivariate analysis techniques were reviewed.
      Optical emission spectroscopy was reviewed for a chemical composition analysis tool andRF V-I probe for a physical analysis tool for plasma monitoring. Multivariate analysistechniques are discussed to the sensitivity improvement. Principal component analysis (PCA)is one of the widely adopted multivariate analysis techniques and its application to end-pointdetection of plasma etching process is discussed.
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      In this article, plasma monitoring tools and mulivariate analysis techniques were reviewed. Optical emission spectroscopy was reviewed for a chemical composition analysis tool andRF V-I probe for a physical analysis tool for plasma monitoring. Multiva...

      In this article, plasma monitoring tools and mulivariate analysis techniques were reviewed.
      Optical emission spectroscopy was reviewed for a chemical composition analysis tool andRF V-I probe for a physical analysis tool for plasma monitoring. Multivariate analysistechniques are discussed to the sensitivity improvement. Principal component analysis (PCA)is one of the widely adopted multivariate analysis techniques and its application to end-pointdetection of plasma etching process is discussed.

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      2014-02-06 학술지명변경 한글명 : ASCT -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2014-02-05 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> ASCT
      외국어명 : Journal of the Koren Vacuum Society -> Applied Science and Convergence Technology      		 KCI등재
      2014-01-01 학술지명변경 한글명 : 한국진공학회지 -> Applied Science and Convergence Technology KCI등재
      2013-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2010-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2008-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2005-05-23 학술지명변경 외국어명 : Journal of the Koren Cacuum Society -> Journal of the Koren Vacuum Society KCI등재
      2005-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) KCI등재후보
      2003-01-01 평가 등재후보학술지 선정 (신규평가) KCI등재후보
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      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.12 0.12 0.15
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.13 0.1 0.328 0.03
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