본 논문에서는 헤테로 애피택시(heteroepitaxy) 박막의 표면확산계수를 국부적으로 제어하여 표면에서 형성되는 나노구조물이 정렬되는 과정을 수치해석적으로 연구하였다. 격자 불일치 물질...
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김윤영 (Northwestern University) ; 한봉구 (서울과학기술대학교) ; Kim, Yun Young ; Han, Bong Koo
2015
Korean
KCI등재
학술저널
79-83(5쪽)
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본 논문에서는 헤테로 애피택시(heteroepitaxy) 박막의 표면확산계수를 국부적으로 제어하여 표면에서 형성되는 나노구조물이 정렬되는 과정을 수치해석적으로 연구하였다. 격자 불일치 물질...
본 논문에서는 헤테로 애피택시(heteroepitaxy) 박막의 표면확산계수를 국부적으로 제어하여 표면에서 형성되는 나노구조물이 정렬되는 과정을 수치해석적으로 연구하였다. 격자 불일치 물질계(lattice-mismatched materials system)의 탄성변형에너지와 표면자유에너지, 그리고 습윤에너지를 고려하여 박막의 변형거동에 대한 지배방정식을 도출하였으며, 확산계수의 활성화 조건이 성장에 미치는 영향을 살펴보았다. 해석결과는 주기함수 형식으로 표면확산계수를 제어하면 표면구조물이 배열 형태로 정렬됨을 나타내며, 이는 노광 및 식각 과정을 거쳐야 하는 포토리소그래피(photolithography)로부터 탈피한 바텀업(bottom-up) 방식의 공정방법에 규칙성을 부여하여 차세대 나노기기의 개발에 일조할 것으로 기대된다.
다국어 초록 (Multilingual Abstract)
This paper presents a numerical study on the alignment of ridge-like surface structures evolving on silicon-germanium thin films under localized modulation of surface diffusivity. A situation is considered in which the surface diffusion of film materi...
This paper presents a numerical study on the alignment of ridge-like surface structures evolving on silicon-germanium thin films under localized modulation of surface diffusivity. A situation is considered in which the surface diffusion of film material is selectively promoted such that its morphology is perturbed to periodic patterns. To simulate the growth behavior, a governing equation is formulated taking the surface chemical potential into account, and its solution is numerically sought using a finite-difference method. Results show that an initially planar surface coalesces upon the diffusivity modulation, and the surface structures can be aligned by changing the frequency of modulation condition. This research suggests a bottom-up fabrication technique that can manage the regularity of surface structures for thin film devices.
참고문헌 (Reference)
1 Asaro, R.J., "Surface Morphology Development during Stress Corrosion Cracking:Part I. Via Surface Diffusion" 3 : 1789-1796, 1972
2 Gao, H., "Some General Properties of Stressdriven Surface Evolution in a Heteroepitaxial Thin Film Structure" 42 : 741-772, 1994
3 Srolovitz, D.J., "On the Stability of Surfaces of Stressed Solids" 37 : 621-625, 1989
4 Yu, B., "Nanotechnology: Role in Emerging Nanoelectronics" 50 : 536-544, 2006
5 Kukta, R.V., "Minimum Energy Configuration of Epitaxial Material Clusters on a Lattice-mismatched Substrate" 45 : 1835-1860, 1997
6 Grinfeld, M.A., "Instability of the Interface between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and Melts" 290 : 1358-1363, 1986
7 Khenner, M., "Influence of Pulsed Laser Heating on Morphological Relaxation of Surface Ripples" 72 : 2005
8 Hull, R., "Germanium Silicon:Physics and Materials" Academic Press 1999
9 Freund, L.B., "Evolution of Waviness on the Surface of a Strained Elastic Solid due to Stressdriven Diffusion" 32 : 911-923, 1995
10 Tekalign, W.T., "Evolution Equation for a Thin Epitaxial Film on a Deformable Substrate" 96 : 5505-5512, 2004
1 Asaro, R.J., "Surface Morphology Development during Stress Corrosion Cracking:Part I. Via Surface Diffusion" 3 : 1789-1796, 1972
2 Gao, H., "Some General Properties of Stressdriven Surface Evolution in a Heteroepitaxial Thin Film Structure" 42 : 741-772, 1994
3 Srolovitz, D.J., "On the Stability of Surfaces of Stressed Solids" 37 : 621-625, 1989
4 Yu, B., "Nanotechnology: Role in Emerging Nanoelectronics" 50 : 536-544, 2006
5 Kukta, R.V., "Minimum Energy Configuration of Epitaxial Material Clusters on a Lattice-mismatched Substrate" 45 : 1835-1860, 1997
6 Grinfeld, M.A., "Instability of the Interface between a Non-hydrostatically Stressed Elastic Body and Melts" 290 : 1358-1363, 1986
7 Khenner, M., "Influence of Pulsed Laser Heating on Morphological Relaxation of Surface Ripples" 72 : 2005
8 Hull, R., "Germanium Silicon:Physics and Materials" Academic Press 1999
9 Freund, L.B., "Evolution of Waviness on the Surface of a Strained Elastic Solid due to Stressdriven Diffusion" 32 : 911-923, 1995
10 Tekalign, W.T., "Evolution Equation for a Thin Epitaxial Film on a Deformable Substrate" 96 : 5505-5512, 2004
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학술지 이력
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2028 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2022-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | |
2019-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | |
2016-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (계속평가) | |
2015-12-01 | 평가 | 등재후보로 하락 (기타) | |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2005-05-29 | 학술지명변경 | 외국어명 : 미등록 -> Journal of the Computational Structural Engineering Institute of Korea | |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | |
2002-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) |
학술지 인용정보
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.27 | 0.27 | 0.23 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.22 | 0.2 | 0.443 | 0.03 |