10-10 torr까지의 초고진공 표준 확립

국문 초록 (Abstract)

동적교정방법을 이용하여 10^(-7)~10^(-10)torr 영역에서 교정 가능한 초고진공 표준기를 제작하였다. 10^(-6)~10^(-9)torr L/s 영역의 극미세 유량은 고진공 표준기에 porous plug를 연결하여 발생 제어시켰으며 일정한 배기속도를 유지함이 알려져 있는 refrigerator type cryopump를 이용하여 3×10^(-11)torr의 base pressure를 얻을 수 있었다. 이 초고진공 표준기를 이용하여 두 개의 extractor gauge와 자체 제작한 nude 이온게이지들을 교정하고 그 직선성 및 재현도를 살펴보았다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

The dynamic calibration system which can calibrate the ultrahigh vacuum pressure down to 10^(-10) torr has been fabricated. The production and control of minute flow of 10^(-6)~10^(-9)torr L/s range is done by a porous plug connected to the high vacuum standards system. The base pressure of the UHV standards system down to 10^(-11) torr range was obtained by refrigerator type cryopump, whose pumping speed is known to be constant. By using the UHV standards system, 2 extractor gauges and 1 nude ion gauge were calibrated and their linearities and scatterings were studied.

목차 (Table of Contents)

• 요약
  
• Abstract
  
• 1. 서론
  
• 2. 초고진공 표준시스템
  
• 3. 초고진공 게이지의 교정
  
• 4. 결론
  
• 감사의 말씀
  
• 참고문헌