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ア ァ カ サ ザ タ ダ ナ ハ バ パ マ ヤ ャ ラ ワ ヮ ン イ ィ キ ギ シ ジ チ ヂ ニ ヒ ビ ピ ミ リ ウ ゥ ク グ ス ズ ツ ヅ ッ ヌ フ ブ プ ム ユ ュ ル エ ェ ケ ゲ セ ゼ テ デ ヘ ベ ペ メ レ オ ォ コ ゴ ソ ゾ ト ド ノ ホ ボ ポ モ ヨ ョ ロ ヲ ―

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      고집적용 구리배선의 electromigration 및 thermal fatigue 연구 = Electromigratoin and thermal fatigue in Cu mentallization for ULSI

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      https://www.riss.kr/link?id=A101204971

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      We researched damage formation and failure mechanism under DC(direct current) and AC(alternative current) in order to estimate reliability of Cu interconnects in ULSI. Higher current density and temperature induces more short TTF(time to failure) during interconnects carry DC. Measurement reveals that Cu electromigration has activation energy of 0.96eV and current density exponent value of 4. Thermal fatigue is occurred under DC, and higher frequency and ${\Delta}$T value gives more severe damage during interconnects carry AC Through failure morphology analysis with respect to texture, we observed that damages had grown widely and facetted grains had appeared in (100)grain but damages in (111) had grown thickness direction of line and had induced a failure rapidly.
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      We researched damage formation and failure mechanism under DC(direct current) and AC(alternative current) in order to estimate reliability of Cu interconnects in ULSI. Higher current density and temperature induces more short TTF(time to failure) duri...

      We researched damage formation and failure mechanism under DC(direct current) and AC(alternative current) in order to estimate reliability of Cu interconnects in ULSI. Higher current density and temperature induces more short TTF(time to failure) during interconnects carry DC. Measurement reveals that Cu electromigration has activation energy of 0.96eV and current density exponent value of 4. Thermal fatigue is occurred under DC, and higher frequency and ${\Delta}$T value gives more severe damage during interconnects carry AC Through failure morphology analysis with respect to texture, we observed that damages had grown widely and facetted grains had appeared in (100)grain but damages in (111) had grown thickness direction of line and had induced a failure rapidly.

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      참고문헌 (Reference)

      1 "주영창고집적용 구리배선의 electromigration 및 thermal fatigue 연구 PAGE 5마이크로전자 및 패키징학회지 제12권 제1호 Journal of the Microelectronics & Packaging SocietyVol. 12" 53-582005, 199920052005

      2 "Thunderbird by AMD" 2000

      3 "Pentium 4 by IBM" 2000

      1 "주영창고집적용 구리배선의 electromigration 및 thermal fatigue 연구 PAGE 5마이크로전자 및 패키징학회지 제12권 제1호 Journal of the Microelectronics & Packaging SocietyVol. 12" 53-582005, 199920052005

      2 "Thunderbird by AMD" 2000

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      2018-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2015-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2011-06-28 학술지명변경 한글명 : 마이크전자 및 패키징학회지 -> 마이크로전자 및 패키징학회지
      외국어명 : The Microelectronics and Packaging Society -> Jornal of the Microelectronics and Packaging Society      		 KCI등재
      2011-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2009-01-01 평가 등재 1차 FAIL (등재유지) KCI등재
      2007-01-01 평가 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
      2004-01-01 평가 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
      2003-01-01 평가 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) KCI등재후보
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      학술지 인용정보

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      기준연도 WOS-KCI 통합IF(2년) KCIF(2년) KCIF(3년)
      2016 0.48 0.48 0.43
      KCIF(4년) KCIF(5년) 중심성지수(3년) 즉시성지수
      0.39 0.35 0.299 0.35
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