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      Anti-saturation Surface Topography Observer for Amplitude Modulation Atomic Force Microscope

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      https://www.riss.kr/link?id=A102997738

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      This paper addresses the development of amplitude modulation atomic force microscopes (AM-AFM). The output of the AM-AFM is obtained from amplitude demodulation of the excited cantilever tip position. Thus, when the amplitude of the cantilever tip position is zero or maximum value, the output will be saturated. The output saturation prevents disturbance suppression. In this paper, the anti-saturation surface topography observer which improves the output saturation is proposed. The proposed method estimates the unsaturated output and uses it for the feedback loop. Finally, effectiveness of a proposed method is shown by simulation and experimental results.
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      This paper addresses the development of amplitude modulation atomic force microscopes (AM-AFM). The output of the AM-AFM is obtained from amplitude demodulation of the excited cantilever tip position. Thus, when the amplitude of the cantilever tip pos...

      This paper addresses the development of amplitude modulation atomic force microscopes (AM-AFM). The output of the AM-AFM is obtained from amplitude demodulation of the excited cantilever tip position. Thus, when the amplitude of the cantilever tip position is zero or maximum value, the output will be saturated. The output saturation prevents disturbance suppression. In this paper, the anti-saturation surface topography observer which improves the output saturation is proposed. The proposed method estimates the unsaturated output and uses it for the feedback loop. Finally, effectiveness of a proposed method is shown by simulation and experimental results.

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      목차 (Table of Contents)

      • Abstract
      • 1. CONTROL DESIGN
      • 2. CONTROL SYSTEM DESIGN WITH OUTPUT SATURATION CONSIDERATION
      • 3. SIMULATIONS
      • 4. EXPERIMENTAL RESULTS
      • Abstract
      • 1. CONTROL DESIGN
      • 2. CONTROL SYSTEM DESIGN WITH OUTPUT SATURATION CONSIDERATION
      • 3. SIMULATIONS
      • 4. EXPERIMENTAL RESULTS
      • 5. CONCLUSION
      • REFERENCES
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